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国产电子束光刻技术实现突破 高端光刻装备破局

12小时前热点关注9

   国产高端光刻装备“羲之”电子束光刻机的问世,标志着中国在半导体设备领域取得了重要突破。这款光刻机精度达到0.6nm,线nm,适用于量子芯片和光子芯片等纳米级电路的直写制造,无需掩膜版即可灵活修改设计,填补了国内高端研发装备的空白。与传统光学光刻机相比,电子束光刻机在原型设计、快速迭代和小批量试制方面具有显著优势,特别适合量子芯片研发初期的反复调试需求。

   此前,国际电子束光刻机受出口管制,国内科研机构和企业长期无法采购。“羲之”的成功研发彻底打破了这一困局,使我国在量子芯片制造核心装备上实现了自主可控。此外,美国对华芯片技术封锁背景下,国产高端光刻机的突破成为保障半导体产业链安全的关键一环。

   在受益标的筛选方面,芯碁微装是国内直写光刻系统龙头,已布局电子束光刻技术,并与“羲之”研发团队紧密合作。该公司掌握纳米级光刻工艺,客户覆盖长江存储、长电科技等头部企业热点话题,预计2025年订单量将同比增长300%。炬光科技则凭借高功率半导体激光器技术切入多家中试线%,量子芯片设备需求爆发或推动其毛利率提升至45%。奥普光电作为精密位移传感器供应商,与光刻机双工件台龙头华卓精科深度协同,具备较高的技术壁垒。

   在光刻气体与材料方面,华特气体是国内唯一实现ArF光刻气量产的企业,市占率超过60%,并已布局超高纯氟碳气体研发。中船特气在全球光刻用电子级三氟化氮市场占有15%份额,产能扩张至2000吨/年,客户包括ASML认证厂商。凯美特气则通过特种气体技术突破,电子级氨气纯度达7N,进入长江存储供应链。

   在量子芯片设计与制造领域,国盾量子作为量子通信领域的龙头企业,与“羲之”团队合作开发量子芯片原型,计划到2025年研发投入占比超20%。光迅科技则在光子芯片技术方面领先,与浙江大学共建联合实验室,硅光模块量产能力位居行业第一。

   从投资逻辑与策略来看,短期内政策支持和事件驱动将加速相关企业订单落地。国家大基金三期重点扶持半导体设备材料,“羲之”量产或带动相关企业订单增长。此外,半导体ETF连续上涨,海光信息等AI芯片标的也将联动受益。长期来看,电子束光刻机的研发周期长,国内企业突破后将形成“设备-材料-芯片”全链条协同优势。预计到2030年,量子芯片市场规模将达到500亿美元,光刻设备作为核心环节将深度受益。国产电子束光刻技术实现突破 高端光刻装备破局 国产电子束光刻技术实现突破 高端光刻装备破局

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